內(nèi)容編輯擴(kuò)散硅壓力變送器的結(jié)構(gòu)和工作原理
大多數(shù)客戶(hù)買(mǎi)擴(kuò)散硅壓力變送器很容易，動(dòng)動(dòng)手指下單貨就搞定了，有多少人去了解擴(kuò)散硅壓力變送器的結(jié)構(gòu)與原理，我想很多人只要買(mǎi)回能用就行，這個(gè)是一種的觀念，你不懂它的結(jié)構(gòu)、原理出了故障咋加呢？不能出了問(wèn)題老是找廠家呀，自已能就地解決那是Zui好的，針對(duì)這些問(wèn)題，我們系統(tǒng)的一起來(lái)學(xué)習(xí)擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)與工作原理。
擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)組成
由于傳感器的輸出是非標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)，在實(shí)際應(yīng)用中為了使傳感器具有通用性以及便于信號(hào)的傳送和記錄，就將傳感器與帶有標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸入電路配套使用，使之輸出符合標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)。此時(shí)輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)的傳感器就稱(chēng)為變送器 。
簡(jiǎn)而言之，變送器是從傳感器逐步發(fā)展而來(lái)的。本文研究的擴(kuò)散硅壓力變送器主要由 MEMS 傳感器、測(cè)量膜盒和接口與處理電路（智能電路板）三大部分組成。
壓力傳感器與二極管溫度傳感器一起封裝在測(cè)量膜盒頂部，再由兩塊密封法蘭夾住膜盒本體構(gòu)成了變送器的測(cè)量部，負(fù)責(zé)把工作現(xiàn)場(chǎng)待測(cè)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)。另有電子線(xiàn)路板和液晶顯示表頭及接線(xiàn)端子構(gòu)成顯示部，負(fù)責(zé)把傳感器輸出的電壓信號(hào)通過(guò)放大、二線(xiàn)制信號(hào)處理變換4~20mA后，輸出標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào) 。
擴(kuò)散硅壓力變送器的工作原理
基于單晶硅的壓阻效應(yīng)，在硅片上某個(gè)特定方向上用先井的微機(jī)電加工技術(shù)制作成彈性部件，在其得當(dāng)位置用集成電路工藝制作的四個(gè)阻值相等的力敏電阻，連接成 Wheatstone（惠斯通）電橋。施加一個(gè)恒向電壓（電流）給電橋，被測(cè)壓力通過(guò)密封在測(cè)量膜盒中的硅油無(wú)損耗的傳遞到硅片上，變送器就輸出與待測(cè)壓力成線(xiàn)性比例的電壓信號(hào)，然后通過(guò)電子線(xiàn)路把這一電壓信號(hào)放大并轉(zhuǎn)換成二線(xiàn)制的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。
總結(jié)：
由其工作原理可知，壓力傳感器是變送器重要組成部分，變送器的溫度漂移主要來(lái)源就是硅壓力傳感器的溫度漂移。當(dāng)前對(duì)于硅壓力變送器溫漂補(bǔ)償?shù)难芯恳仓饕性诠鑹毫鞲衅鬟@部分。
擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)組成
由于傳感器的輸出是非標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)，在實(shí)際應(yīng)用中為了使傳感器具有通用性以及便于信號(hào)的傳送和記錄，就將傳感器與帶有標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸入電路配套使用，使之輸出符合標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)。此時(shí)輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)的傳感器就稱(chēng)為變送器 。
簡(jiǎn)而言之，變送器是從傳感器逐步發(fā)展而來(lái)的。本文研究的擴(kuò)散硅壓力變送器主要由 MEMS 傳感器、測(cè)量膜盒和接口與處理電路（智能電路板）三大部分組成。
壓力傳感器與二極管溫度傳感器一起封裝在測(cè)量膜盒頂部，再由兩塊密封法蘭夾住膜盒本體構(gòu)成了變送器的測(cè)量部，負(fù)責(zé)把工作現(xiàn)場(chǎng)待測(cè)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)。另有電子線(xiàn)路板和液晶顯示表頭及接線(xiàn)端子構(gòu)成顯示部，負(fù)責(zé)把傳感器輸出的電壓信號(hào)通過(guò)放大、二線(xiàn)制信號(hào)處理變換4~20mA后，輸出標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào) 。
擴(kuò)散硅壓力變送器的工作原理
基于單晶硅的壓阻效應(yīng)，在硅片上某個(gè)特定方向上用先井的微機(jī)電加工技術(shù)制作成彈性部件，在其得當(dāng)位置用集成電路工藝制作的四個(gè)阻值相等的力敏電阻，連接成 Wheatstone（惠斯通）電橋。施加一個(gè)恒向電壓（電流）給電橋，被測(cè)壓力通過(guò)密封在測(cè)量膜盒中的硅油無(wú)損耗的傳遞到硅片上，變送器就輸出與待測(cè)壓力成線(xiàn)性比例的電壓信號(hào)，然后通過(guò)電子線(xiàn)路把這一電壓信號(hào)放大并轉(zhuǎn)換成二線(xiàn)制的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。
總結(jié)：
由其工作原理可知，壓力傳感器是變送器重要組成部分，變送器的溫度漂移主要來(lái)源就是硅壓力傳感器的溫度漂移。當(dāng)前對(duì)于硅壓力變送器溫漂補(bǔ)償?shù)难芯恳仓饕性诠鑹毫鞲衅鬟@部分。
